產品分類半導體 | 上海哈克過濾科技股份有限公司

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哈克過濾科技

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Air filtration

高世代線濕制程用超高流量過濾濾芯

濾芯適用于高世代線液晶面板生產制造工藝，主要應用在高流量要求的工藝點，濾芯能夠達到超過200L/min的流量要求，精致的外觀結構能夠充分滿足設備對空間的要求，2m2以上的濾膜面積不僅具備高流量的性能，也具備高納污量的性能，能夠減少設備在使用過程中因更換濾芯而造成的設備停機次數。濾芯有多種膜材與多種精度可選。

電子制程水過濾濾芯

電子制程水過濾濾芯采用親水性PES膜材，其非對稱的膜結構使濾芯在保證過濾效率的同時，大大延長了濾芯的使用壽命，有效節省了系統的過濾成本。適合弱酸/堿和超純水的過濾。

60T/H超大流量濾芯

60T/H超大流量濾芯是一款大直徑，無中心桿，單開口，并且具有獨特內進外出流向設計的濾芯。超大流量減少了濾芯和過濾器的使用量?？蛇x用多種濾膜材質以適應不同應用要求。

低析出超高精度終端濾芯

低析出超高精度終端濾芯采用親水性PES膜材，專為超純水終端過濾設計，具有超低的離子析出，極快電阻率回復能力，大大減少在線沖洗時間。最高達到0.02μm的過濾精度，確保了終端超純水出水水質。

光刻膠用終端絕對過濾濾芯

光刻膠用終端絕對過濾濾芯專為過濾光刻膠設計，采用高流速、高精度的PTFE或尼龍濾膜，結合低析出的HDPE骨架，溶出極低，適用于光刻膠的終端過濾，可選多種過濾精度：可選0.02μm-10μm 的多種過濾精度，滿足不同過濾需求，可以根據應用和客戶需求進行專項定制。

拋光液深層過濾濾芯

拋光液深層過濾濾芯利用獨特的卷繞設計，能夠對CMP的slurry精準過濾，高效攔截大顆粒，放行有效顆粒。由外到內的梯度結構，增加了納污空間，延長濾芯使用壽命。

超高納污量過濾濾芯

超高納污量過濾濾芯采用多層納米纖維材料，在合理的梯度結構設計下，具備高納污能力。由粗到細的漸變孔徑多級截留的特性，使濾芯具有更強的納污能力，能夠有效改善表面快速堵塞問題，大幅度延長了濾芯的使用壽命。過濾精度：0.5-90μm的精度范圍，能夠滿足各種不同過濾精度的要求，適用范圍廣非常適用于高懸浮顆粒、膠體類物質、高粘度液體的過濾。

FFU風機過濾機組

通過與高效/超高效板式過濾器配合從循環空氣中去除有害顆粒，為半導體和平板顯示行業的潔凈室和實驗室提供凈化空氣。與潔凈室送風天花系統不同，FFU可產生正壓，從而降低潛在天花旁通泄露的風險。

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