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半導體的解決方案

高精密的生產設備和產品工藝往往要求較高潔凈度的空氣環境和高純度的水來保證設備高效穩定的運行及產品的合格率，微電子工業正是集中各類先進生產技術的突出代表。

相關產品

高世代線濕制程用超高流量過濾濾芯

濾芯適用于高世代線液晶面板生產制造工藝，主要應用在高流量要求的工藝點，濾芯能夠達到超過200L/min的流量要求，精致的外觀結構能夠充分滿足設備對空間的要求，2m2以上的濾膜面積不僅具備高流量的性能，也具備高納污量的性能，能夠減少設備在使用過程中因更換濾芯而造成的設備停機次數。濾芯有多種膜材與多種精度可選。

電子制程水過濾濾芯

電子制程水過濾濾芯采用親水性PES膜材，其非對稱的膜結構使濾芯在保證過濾效率的同時，大大延長了濾芯的使用壽命，有效節省了系統的過濾成本。適合弱酸/堿和超純水的過濾。

60T/H超大流量濾芯

60T/H超大流量濾芯是一款大直徑，無中心桿，單開口，并且具有獨特內進外出流向設計的濾芯。超大流量減少了濾芯和過濾器的使用量?？蛇x用多種濾膜材質以適應不同應用要求。

低析出超高精度終端濾芯

低析出超高精度終端濾芯采用親水性PES膜材，專為超純水終端過濾設計，具有超低的離子析出，極快電阻率回復能力，大大減少在線沖洗時間。最高達到0.02μm的過濾精度，確保了終端超純水出水水質。

光刻膠用終端絕對過濾濾芯

光刻膠用終端絕對過濾濾芯專為過濾光刻膠設計，采用高流速、高精度的PTFE或尼龍濾膜，結合低析出的HDPE骨架，溶出極低，適用于光刻膠的終端過濾，可選多種過濾精度：可選0.02μm-10μm 的多種過濾精度，滿足不同過濾需求，可以根據應用和客戶需求進行專項定制。

拋光液深層過濾濾芯

拋光液深層過濾濾芯利用獨特的卷繞設計，能夠對CMP的slurry精準過濾，高效攔截大顆粒，放行有效顆粒。由外到內的梯度結構，增加了納污空間，延長濾芯使用壽命。

超高納污量過濾濾芯

超高納污量過濾濾芯采用多層納米纖維材料，在合理的梯度結構設計下，具備高納污能力。由粗到細的漸變孔徑多級截留的特性，使濾芯具有更強的納污能力，能夠有效改善表面快速堵塞問題，大幅度延長了濾芯的使用壽命。過濾精度：0.5-90μm的精度范圍，能夠滿足各種不同過濾精度的要求，適用范圍廣非常適用于高懸浮顆粒、膠體類物質、高粘度液體的過濾。

FFU風機過濾機組

通過與高效/超高效板式過濾器配合從循環空氣中去除有害顆粒，為半導體和平板顯示行業的潔凈室和實驗室提供凈化空氣。與潔凈室送風天花系統不同，FFU可產生正壓，從而降低潛在天花旁通泄露的風險。

化學過濾圓筒

濾料裝載量多、接觸面積大、高效率、阻力低等優點。圓筒式化學過濾器由多個單獨的金屬圓筒組成并安裝固定至一個金屬框架上，圓筒上設計的凸扣與框架上的孔洞能較好地結合，保障密封緊密。

4V型無隔板化學過濾器

可選用不同類型的濾料，對外界環境進入潔凈室內空氣所含的有機污染氣體、酸性污染氣體、堿性污染氣體有很好的過濾性能，初始效率可達到90%以上。

箱式化學過濾器

可選用不同類型的濾料，對外界環境進入潔凈室內空氣所含的有機污染氣體、酸性污染氣體、堿性污染氣體有很好的過濾性能，初始效率可達到90%以上。

高效/超高效過濾器

風量大阻力小，重量輕體積小，超高效率壽命長，密封性強，無塵室生產全品出廠檢測。

亞高效/高效過濾器

特有V型結構降低結構阻力，過濾面積大，風量大，效率高，密封技術好，無塵室生產全品出廠檢測，可承受大風量，密封技術好，壽命長。

中效袋式過濾器

風量大阻力小，壽命長，容塵量高，出廠檢測，性能穩定，阻燃性能好，超聲波壓袋。

初效板式過濾器

過濾面積大，容塵量高，壽命長，可清洗，不易變形，護網做過防銹處理美觀耐用，重量輕安裝方便，出廠檢測。

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